低溫泵：

在真空中形成極低溫(10-15K)的冷卻表面(冷凝板)，與冷凝板接觸的大部分氣體分子(N₂、Ar等)將在冷凝板上凝結(jié)。氫氣、氦氣等平衡蒸氣壓特別高的氣體分子通過(guò)被黏附在冷凝板表面的吸附劑吸附的方式排出。而平衡氣壓較低的氣體(大部分為水蒸氣)則在冷卻至 80K的擋板上凝結(jié),提高冷凝板的排氣能力。

對(duì)于冷凝板(10~15K)、擋板及屏蔽筒(75~80K)的冷卻，則通過(guò)氦氣冷凍機(jī)系統(tǒng)(由冷凍機(jī)和壓縮機(jī)構(gòu)成)來(lái)實(shí)現(xiàn)。

低溫泵能制造出10^-7--10^-9Pa（10^-9--10^-11Torr）以下的純凈真空環(huán)境。并且在10^-1--10^-8Pa（10^-3--10^-10Torr）的壓力范圍內(nèi)持有快速排氣速度。

特點(diǎn)：

· 能創(chuàng)造出其他真空泵不能創(chuàng)造的極純凈的真空環(huán)境

· 能排出所有種類(lèi)氣體

· 因不需要液氮、運(yùn)行成本低廉

· 能對(duì)任意方向進(jìn)行安裝

· 設(shè)計(jì)緊湊,輕便

· 操作簡(jiǎn)單

· 排氣速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于離子泵、渦輪分子泵

用途：

· 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

· 濺射鍍膜設(shè)備

· 離子注入設(shè)備

· 半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 加速器

· 核聚變?cè)O(shè)備

· 表面分析設(shè)備

· 空間模擬室 (space chamber)

· 其他要求高純凈真空、高真空的設(shè)備

使用優(yōu)勢(shì)：

· 提高生產(chǎn)效率：高效節(jié)能的制冷技術(shù)使得設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中能夠更快地達(dá)到所需的低溫環(huán)境，從而提高生產(chǎn)效率。

· 保證產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定可靠的性能使得設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中能夠保持恒定的低溫環(huán)境，保證產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

· 降低運(yùn)行成本：高效節(jié)能的技術(shù)和穩(wěn)定的性能使得設(shè)備的能耗更低，故障率更低，從而降低運(yùn)行成本。